潔凈室
潔凈室
潔凈室(Clean Room)，亦稱(chēng)為無(wú)塵室或清凈室。它是污染控制的基礎，沒(méi)有潔凈室，污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面，潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構造材料和裝置的房間，其中特定的規則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度，從而達到適當的微粒潔凈度級別。
目錄
二、潔凈室原理
1. 單向流（層流）潔凈室原理 2. 亂流潔凈室原理 三、控管項目 四、分類(lèi)
1. 亂流式（Turbulent Flow) 2. 層流式（Laminar) 3. 復合式（Mixed Type) 五、氣流的流動(dòng)
1. 氣流的重要性
2. 風(fēng)速的控制 3. 影響因素 六、潔凈室之構成
七、潔凈室按用途分類(lèi)（可分為兩大類(lèi)）
1. 工業(yè)潔凈室 2. 生物潔凈室 八、潔凈室污染源知識
1. 1、發(fā)塵量
2. 2、發(fā)菌量 九、潔凈室標準規范
1. G內標準規范
2. G際標準規范 十、行業(yè)應用詳細參數 十一、潔凈室八大特點(diǎn) 十二、潔凈室從業(yè)人員規范
一、定義
潔凈室是指將一定空間范圍內之空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等之污染物排除，并將室內之溫度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內，而所給予特別設計之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內均能俱有維持原先所設定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室**主要之作用在于控制產(chǎn)品（如硅芯片等）所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。按照G際慣例，無(wú)塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數量來(lái)規定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當然這個(gè)標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對于光學(xué)構造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì )產(chǎn)生非常大的負面影響，所以在光學(xué)構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數量控制在3500個(gè)以下，就達到了G際無(wú)塵標準的A級。目前應用在芯片級生產(chǎn)加工的無(wú)塵標準對于灰塵的要求高于A(yíng)級，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數量被嚴格控制在每立方米1000個(gè)以?xún)?，這也就是業(yè)內俗稱(chēng)的1K級別。 潔凈室狀態(tài)分為以下三種
空態(tài)：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室（設施）。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是，在設施內沒(méi)有操作人員操作的設備。
靜態(tài)：各種功能完備、設定安裝妥當，可以按照設定使用或正在使用的潔凈室（設施），但是設施內沒(méi)有操作人員。
動(dòng)態(tài)：處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設備和人員；如果需要，可從事正常的工作。
二、潔凈室原理
單向流（層流）潔凈室原理
[1]
在潔凈室內，從送風(fēng)口到回風(fēng)口，氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒(méi)有什么變化，加上進(jìn)風(fēng)靜壓箱和高效過(guò)濾器的均壓均流作用，全室斷面上的流速比較均勻，而**少在工作區內流線(xiàn)單向平行，沒(méi)有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點(diǎn)。這里的流線(xiàn)單向平行，是指時(shí)均流線(xiàn)彼此平行，方向單一。
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數判斷是紊流的，所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此，層流潔凈室這個(gè)名詞是不貼切的，G外某些標準和文章也指出這一點(diǎn)，例如英G標準BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室，只是照顧習慣在括號中注明為層流。前聯(lián)邦德G標準VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語(yǔ)，并在注中指出，層流這一概念只是為了區別早于層流潔凈室出現的紊（亂）流潔凈室而在當時(shí)采用的習慣用語(yǔ)，“層流系統”的確切意思并不是分層流動(dòng)，而是紊流的置換流，用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中，這種流動(dòng)狀態(tài)也可稱(chēng)平行流或單向流。1977年中G在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個(gè)術(shù)語(yǔ)，在該術(shù)語(yǔ)后面同時(shí)也指出習慣上稱(chēng)“層流”。
在單向流潔凈室內，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿(mǎn)全室斷面，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對室內臟空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔凈氣流推出作用將室內臟空氣沿整個(gè)斷面排**室外，達到凈化室內空氣的目的。所以，前聯(lián)邦德G有人稱(chēng)單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱(chēng)之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個(gè)空氣活塞，沿著(zhù)房間這個(gè)“氣缸”，向前（下）推進(jìn)，而使塵粒只能前（下）進(jìn)，沒(méi)有返回，把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。在單向流潔凈室以及單向流凈化設備中，可以發(fā)現沿壁的和兩個(gè)過(guò)濾器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的污染傳輸到上部再送下來(lái)，破壞了上述“活塞流”的狀態(tài)，危害極大。對于和外界有開(kāi)口相通的局部?jì)艋O備，例如潔凈工作臺，這種氣流將引射外界污染氣流，在設計上一定要減小過(guò)濾器邊框處所占的無(wú)效面積，更要設法使空間的壁面盡量接近過(guò)濾器有效迭風(fēng)截面。 #p#分頁(yè)標題#e#
通過(guò)上面分析，可以認為保證單向流潔凈室特性（高潔凈度和快速自?xún)艋謴湍芰Γ┑闹匾葲Q條件有兩個(gè)：①來(lái)流的潔凈度；②來(lái)流的活塞流情況；
對于來(lái)流的潔凈度，對通過(guò)高效以上過(guò)濾器送風(fēng)的單向流潔凈室來(lái)說(shuō)是不成問(wèn)題的，而對于來(lái)流的“活塞流”情況，則需作進(jìn)～步分析。
根據流體力學(xué)原理，來(lái)流條件對以后的流動(dòng)狀況將有直接的重要影響，送風(fēng)面出口氣流也就是工作區的來(lái)流。
來(lái)流的紊動(dòng)性大，則將影響后面的單向流特性；來(lái)流未充滿(mǎn)流動(dòng)截面，則將影響后面是否能形成“活塞流”和形成的快慢；而來(lái)流未充滿(mǎn)流動(dòng)截面也是來(lái)流素動(dòng)的一個(gè)因素。所以，在采用高效過(guò)濾器的條件下，保證單向流潔凈室特性的必要條件是“活塞流”，而“活塞流”的必要條件則是來(lái)流充滿(mǎn)流動(dòng)截面。但是，對一間房間而不是一段管道來(lái)說(shuō)，讓氣流從頭**尾完全充滿(mǎn)流動(dòng)截面也是不現實(shí)的。
**初，確實(shí)認為這種單向平行的氣流應該充滿(mǎn)整個(gè)潔凈室，但這在技術(shù)上和經(jīng)濟上都是不利的。隨著(zhù)認識的發(fā)展，人們又指出這種單向流只是“在有限的*域內全部空氣沿平行流線(xiàn)以等速流動(dòng)的意思”，并認為能極力抑制渦流的發(fā)生。通過(guò)全空間的清潔空氣的單向流特性占支配地位的那樣的房間，也稱(chēng)為單向流潔凈室。這就是說(shuō)，不要求在整個(gè)房間都具有單向平行的流線(xiàn)，均勻的速度，沒(méi)有渦流，而是只要求單向平行流特性在這個(gè)房間中占支配地位，例如在整個(gè)工作區這一層空間保證了單向流，這個(gè)房間就是單向流潔凈室。前面介紹過(guò)的G內外有關(guān)標準、措施中關(guān)于單向流潔凈室達到的高潔凈度，就是指在工作區內達到的潔凈度。因此，密集布置的流線(xiàn)型散流器頂送和全孔板頂送，也被作為實(shí)現垂直單向流的手段使用。
亂流潔凈室原理
[2]
潔凈室按其氣流狀態(tài)來(lái)區分，主要分為亂流（非單向流）潔凈室、單向流潔凈室和輻
流潔凈室（也有稱(chēng)矢流潔凈室的），這一節主要討論亂流潔凈室。前面已經(jīng)指出，不論是哪一種潔凈室，都是紊流流態(tài)。那為什么不都叫紊流潔凈室呢？
亂流潔凈室的名稱(chēng)是借用于日文，但是日文的亂流就是紊流的意思，而中G**早在《空氣潔凈技術(shù)措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同于流體力學(xué)上的紊流這一專(zhuān)有名詞?，F在G際上則習慣稱(chēng)這種潔凈室為非單向流潔凈室。 所謂亂流潔凈室，一般包括以下各種送風(fēng)形式： ⑴高效過(guò)濾器頂送（有擴散板和無(wú)擴散板 ⑵流線(xiàn)型散流器頂進(jìn) ⑶局部孔板頂送 ⑷側送
具有這些送風(fēng)形式的潔凈室，如以雷諾數判斷，顯然屬于紊流流態(tài)，但是如果把它們稱(chēng)為紊流潔凈室就不合適。氣流沿整個(gè)頂棚下送，室內速度達到0.25m/s 以上，這種室內的流動(dòng)狀態(tài)也是紊流，但在后面就會(huì )搞清楚，雖然這兩種送風(fēng)方式都造成室內紊流流態(tài)，但是就其凈化室內空氣的原理來(lái)說(shuō)，卻是根本不同的，后者屬于單向流或平行流潔凈室的凈化原理。所以如果把前者稱(chēng)為紊流潔凈室，則后者也應被包含進(jìn)去了。
亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來(lái)流到出流（從送風(fēng)口到回風(fēng)口）之間氣流的流通截面是變化的，潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多，因而不能在全室截面或者在全室工作區截面形成勻速氣流。所以，送風(fēng)口以后的流線(xiàn)彼此有很大或者越來(lái)越大的夾角，曲率半徑很小，氣流在室內不可能以單一方向流動(dòng)，將會(huì )彼此撞擊，將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是：突變流；非均勻流。
這比用紊流來(lái)描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數，也就是主要受流速的影響，但是如果采用一個(gè)高效過(guò)濾器頂送的送風(fēng)形式，則即使流速極低，也要產(chǎn)生上述各種結果，這就因為它是一個(gè)突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混，而且還有全室范圍內的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。
所以，概括地說(shuō)，亂流潔凈室的作用原理是：當一股干凈氣流從送風(fēng)口送入室內時(shí)，迅速向四周擴散、混合，同時(shí)把差不多同樣數量的氣流從回風(fēng)口排走，這股干凈氣流稀釋著(zhù)室內污染的空氣，把原來(lái)含塵濃度很高的室內空氣沖淡了，一直達到平衡。所以氣流擴散得越快，越均勻，稀釋的技果就越好。所以亂流潔凈室的原理就是稀釋作用。
三、控管項目
1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。 2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。 3、溫度和濕度之控制。 4、壓力之調節。 5、 有害氣體之排除。 6、結構物與隔間之氣密性。 7、靜電之防制。 8、電磁干擾預防。 9、安全因素之考慮。 10、節能之考量。
空氣凈化方法 1 、整體凈化：可分為層流型和湍流型。層流是指空氣由一側全面地以同速流向另一側，使室內產(chǎn)生的塵?；蚣毦粫?huì )向四周擴散而被平推出室外，而達到好的除菌效果。 ⑴高效過(guò)濾除菌技術(shù)：空氣潔凈主要靠高效或超高效過(guò)濾設備，向特定的環(huán)境內輸送潔凈空氣并能保持空氣的潔凈度。過(guò)濾潔凈原理：①網(wǎng)截阻留；②篩孔阻留；③靜電吸引阻留；④慣性碰撞和布朗運動(dòng)阻留。因此，過(guò)濾潔凈技術(shù)是一種綜合作用的結果。 #p#分頁(yè)標題#e#
⑵濾材結構：生物潔凈室所用濾材級別多數為高效或超高效濾材，所用濾材有：玻璃棉制濾材、**紙漿制濾材、石棉纖維濾材、過(guò)氯乙烯纖維濾材等。高效濾材對空氣中 0.5 μ m 的顆粒的阻留率能達到 90%~99% ，超高效濾材可阻留 0.3 μ m 的顆粒 99.9% 以上。 2 、局部?jì)艋?
⑴潔凈層流罩：潔凈層流罩是醫院局部空氣凈化裝置。一般可構成垂直層流方式，四周用透明圍幕。整個(gè)罩內可保持高潔凈度（萬(wàn)級**百級）空氣。這種潔凈層流罩可用于免疫功能低下病人的治療保護，所以也稱(chēng)無(wú)菌病床層流罩。
⑵凈化操作臺：采用水平或垂直層流方式凈化箱體內的空氣，可使操作臺內凈化達到很**別。
⑶靜電吸附除菌凈化技術(shù)：靜電吸附除菌是利用工業(yè)電除塵的原理，在小型化技術(shù)方面有所創(chuàng )新。①采用細線(xiàn)放電極與蜂巢狀鋁箱收集極形成級線(xiàn)裝置；②采用鏡象力荷電吸附作用。
目前有一種三級凈化裝置，即預過(guò)濾 - 高效過(guò)濾 - 活性炭吸附，組合式正離子靜電吸附除菌，并采用大風(fēng)量空氣凈化，以保證室內空氣凈化次數，較好地解決了醫院重點(diǎn)部門(mén)如手術(shù)室、 ICU 、母嬰病房、血液透析室等有人情況下的空氣持續消毒問(wèn)題，可使醫院室內空氣的凈化潔凈度達到 10 萬(wàn)級 ~1 萬(wàn)級。
⑷負離子凈化技術(shù)：負離子是一種帶負電的化學(xué)基團，能發(fā)生可逆性變化，存在時(shí)間極短，本身并無(wú)殺滅微生物的能力，主要是靠帶電離子與空氣中的微粒特別是微生物顆粒結合，形成多個(gè)顆粒凝聚變大從而迅速沉降，使空氣達到凈化的目的?？諝庵胸撾x子只有在具備某些化學(xué)性質(zhì)時(shí)，如活性氧離子等，它們才具有侵害蛋白質(zhì)的能力從而殺滅微生物，因此負離子對空氣凈化的能力比較有限，對空氣中微生物粒子清除率只能達到 70%~90%。
四、分類(lèi)
亂流式（Turbulent Flow)
空氣由空調箱經(jīng)風(fēng)管與潔凈室內之空氣過(guò)濾器（HEPA)進(jìn)入潔凈室，并由潔凈室兩側隔間墻板或高架地板回風(fēng)。氣流非直線(xiàn)型運動(dòng)而呈不規則之亂流或渦流狀態(tài)。此型式適用于潔凈室等級1,000-100,000級。
定義：氣流以不均勻速度不平行流動(dòng)、伴有回流或渦流的潔凈室。
特性：亂流潔凈室是靠多次換氣來(lái)實(shí)現潔凈與潔凈級別。換氣次數決定定義中的凈化級別（換氣次數越多，凈化級別越高）
⑴自?xún)魰r(shí)間：是指潔凈室按設計換氣次數開(kāi)始送風(fēng)到潔凈室，室內含塵濃度達到所設計的凈化級別的時(shí)間。1,000級希望不超過(guò)20min（分鐘） （可取15min計算） 10,000級希望不超過(guò)30min（分鐘） （可取25min計算） 100,000級希望不超過(guò)40min（分鐘） （可取30min計算）
⑵換氣次數（按上述自?xún)魰r(shí)間要求設計）1,000級 43.5—55.3次/小時(shí) （規范：50次/小時(shí)） 10,000級 23.8—28.6次/小時(shí) （規范：25次/小時(shí)） 100,000級 14.4—19.2次/小時(shí) （規范：15次/小時(shí)）
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單、系統建造成本，潔凈室之擴充比較容易，在某些特殊用途場(chǎng)所，可并用無(wú)塵工作臺，提高潔凈室等級。
缺點(diǎn)：亂流造成的微塵粒子于室內空間飄浮不易排出，易污染制程產(chǎn)品。另外若系統停止運轉再激活，欲達需求之潔凈度，往往須耗時(shí)相當長(cháng)一段時(shí)間。 層流式（Laminar)
層流式空氣氣流運動(dòng)成一均勻之直線(xiàn)形，空氣由覆蓋率100%之過(guò)濾器進(jìn)入室內，并由高架地板或兩側隔墻板回風(fēng)，此型式適用于潔凈室等級需定較高之環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class 1~100。其型式可分為二種：
⑴水平層流式：水平式空氣自過(guò)濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統回風(fēng)，塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側污染較嚴重。
優(yōu)點(diǎn)：構造簡(jiǎn)單，運轉后短時(shí)間內即可變成穩定。 缺點(diǎn)：建造費用比亂流式高，室內空間不易擴充。
⑵垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過(guò)濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫?huì )影響其它工作區域。 優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運轉開(kāi)始短時(shí)間內即可達穩定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。
缺點(diǎn)：構造費用較高，彈性運用空間困難，天花板之吊架相當占空間，維修更換過(guò)濾器較麻煩。
復合式（Mixed Type)
復合式為將亂流式及層流式予以復合或并用，可提供局部超潔凈之空氣。
⑴潔凈隧道（Clean Tunnel）：以HEPA或ULPA過(guò)濾器將制程區域或工作區域100%覆蓋使潔凈度等級提高**10級以上，可節省安裝運轉費用。
此型式需將作業(yè)人員之工作區與產(chǎn)品和機器維修予以隔離，以避免機器維修時(shí)影響了工作及品質(zhì)，ULSI制程大都采用此種型式。
潔凈隧道另有二項優(yōu)點(diǎn)：A.彈性擴充容易； B.維修設備時(shí)可在維修區輕易執行。 ⑵潔凈管道（Clean Tube）：將產(chǎn)品流程經(jīng)過(guò)的自動(dòng)生產(chǎn)線(xiàn)包圍并凈化處理，將潔凈度等級提**100級以上。因產(chǎn)品和作業(yè)員及發(fā)塵環(huán)境相互隔離，少量之送風(fēng)即可得到良好之潔凈度，可節省能源，不需人工的自動(dòng)化生產(chǎn)線(xiàn)為**適宜使用。藥品、食品業(yè)界及半導體業(yè)界均適用。 #p#分頁(yè)標題#e#
⑶并裝局部潔凈室（Clean Spot）：將潔凈室等級10,000~100,000之亂流潔凈室內之產(chǎn)品制程區的潔凈度等級提高為10~1000級以上，以為生產(chǎn)之用；潔凈工作臺、潔凈工作棚、潔凈風(fēng)柜即屬此類(lèi)。
潔凈工作臺：等級Class 1~100級。
潔凈工作棚：為在亂流式之潔凈室空間內以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調送風(fēng)機組而成為一較**之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2.5米左右，覆蓋面積約10m2以下，四支支柱并加裝活動(dòng)輪，可為彈性運用。
五、氣流的流動(dòng)
氣流的重要性
潔凈室的潔凈度往往受到氣流的影響，換言之，即人、機器隔間、建筑結構等所產(chǎn)生的塵埃之移動(dòng)、擴散受到氣流的支配。
潔凈室系利用HEPA、ULPA過(guò)濾空氣，其塵埃的收集率達99.97~99.99995%之多，因此經(jīng)過(guò)此過(guò)濾器過(guò)濾的空氣可說(shuō)十分干凈。然而潔凈室內除了人以外，尚有機器等之發(fā)塵源，這些發(fā)生的塵埃一旦擴散，即無(wú)法保持潔凈空間，因此必須利用氣流將發(fā)生的塵埃迅速排出室外。
風(fēng)速的控制
潔凈室內的氣流是左右潔凈室性能的重要因素，一般潔凈室的氣流速度是選
0.25~0.5m/s之間，此氣流速度屬微風(fēng)區域，易受人、機器等的動(dòng)作而干擾趨于混亂、雖提高風(fēng)速可抑制此一擾亂之影響而保持潔凈度、但因風(fēng)速的提高，將影響運轉成本的增加，所以應在滿(mǎn)足要求的潔凈度水準之時(shí)，能以**適當的風(fēng)速供應，以達到適當的風(fēng)速供應以達到經(jīng)濟性效果。
另一方面欲達到潔凈室潔凈度之穩定效果，均一氣流之保持亦為一重要因素，均一氣流若無(wú)法保持，表示風(fēng)速有異，特別是在壁面，氣流會(huì )延著(zhù)壁面發(fā)生渦流作用，此時(shí)要實(shí)現高潔凈度事實(shí)上很困難。
垂直層流式方向要保持均一氣流必須：（a）吹出面的風(fēng)速不可有速度上的差異；（b）地板回風(fēng)板吸入面之風(fēng)速不可有速度上的差異。速度過(guò)低或過(guò)高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發(fā)生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔凈室，其風(fēng)速均取在0.25~0.5m/s之間。 影響因素
影響潔凈室的氣流因素很多，如制程設備、人員、潔凈室組裝材、照明器具等，同時(shí)對于生產(chǎn)設備上方氣流的分流點(diǎn)，亦應列入考慮因素。
一般操作臺或生產(chǎn)設備等表面的氣流分流點(diǎn)，應設于潔凈室空間與隔墻板間距2/3之處，如此可使作業(yè)人員工作時(shí)，氣流可從制程區內部流向作業(yè)區，而將微塵帶走；若分流點(diǎn)配置在制程區前方，將成為不當的氣流分流，此時(shí)大部份的氣流將流**制程區之后，作業(yè)員操作所引起的塵埃將被帶到設備后面，工作臺因而將受到污染，良率也勢必降低。
潔凈室內的工作桌等障礙物，在相接處均會(huì )有渦流現象發(fā)生，相對地在其附近之潔凈度將會(huì )較差，在工作桌面鉆上回風(fēng)孔，將使渦流現象減少**低；組裝材料之選擇是否恰當、設備布局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
六、潔凈室之構成
潔凈室的構成是由下列各項系統所組成（在所組成的系統分子中是缺一不可的），否則將無(wú)法構成一完整且品質(zhì)良好的潔凈室：
⑴天花板系統：包括吊桿（Ceiling rod）、綱梁（I-Beam或U-Beam）、天花板格子梁（Ceiling grid或 Ceilingframe）。
⑵空調系統：包括空氣艙、過(guò)濾器系統、風(fēng)車(chē)等。 ⑶隔墻板（Partitional wall）：包括窗戶(hù)、門(mén)。 ⑷地板：包括高架地板或防靜電舒美地板。 ⑸照明器具：包括日光燈、黃色燈管等。
潔凈室之建筑主體構造，一般是用鋼筋或骨水泥，但無(wú)論是何種構造，必須滿(mǎn)足如下之條件：
A.不會(huì )因溫度變化與振動(dòng)而發(fā)生裂痕； B.不易產(chǎn)生微塵粒子，且很難附著(zhù)粒子； C.吸濕性??；
D.為了維持室內之濕度條件，熱jue緣性要高。
七、潔凈室按用途分類(lèi)（可分為兩大類(lèi)）
工業(yè)潔凈室
以無(wú)生命微粒的控制為對象。主要控制空氣塵埃微粒對工作對象的污染，內部一般保持正壓狀態(tài)。它適用于精密機械工業(yè)、電子工業(yè)（半導體、集成電路等）宇航工業(yè)、高純度化學(xué)工業(yè)、原子能工業(yè)、光磁產(chǎn)品工業(yè)（光盤(pán)、膠片、磁帶生產(chǎn)）LCD（液晶玻璃）、電腦硬盤(pán)、電腦磁頭生產(chǎn)等多行業(yè)。 生物潔凈室
主要控制有生命微粒（細菌）與無(wú)生命微粒（塵埃）對工作對象的污染。又可分為： A、 一般生物潔凈室：主要控制微生物（細菌）對象的污染。同時(shí)其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌劑侵蝕，內部一般保證正壓。實(shí)質(zhì)上其內部材料要能經(jīng)受各種滅菌處理的工業(yè)潔凈室。例：制藥工業(yè)、醫院（手術(shù)室、無(wú)菌病房）食品、化妝品、飲料產(chǎn)品生產(chǎn)、動(dòng)物實(shí)驗室、理化檢驗室、血站等。
B、 生物學(xué)安全潔凈室：主要控制工作對象的有生命微粒對外界和人的污染。內部要保持與大氣的負壓。例：細菌學(xué)、生物學(xué)、潔凈實(shí)驗室、物物工程（重組基因、疫苗制備）。
八、潔凈室污染源知識
1、發(fā)塵量 #p#分頁(yè)標題#e#
潔凈室內的發(fā)塵量，來(lái)自設備的可考慮通過(guò)局部排風(fēng)排除，不流入室內；產(chǎn)品，材料等在運送過(guò)程中的發(fā)塵與人體發(fā)塵量相比，一般極小，可忽略；由于金屬半壁（彩鋼夾心板）的應用來(lái)自建筑表面的發(fā)塵也很少，一般占10%以下，發(fā)塵主要來(lái)自人，占90%左右。在人的發(fā)塵量上，由于服裝材料和樣式的改進(jìn)，發(fā)塵**量也不斷減少。
A、材質(zhì)：棉質(zhì)發(fā)塵量**大，以下依次為棉、的確良、去靜電純滌綸、尼龍。 B、樣式：大掛式發(fā)塵量**大，上下分裝型次之，全罩型**少。 C、活動(dòng)：動(dòng)作時(shí)的發(fā)塵量一般達到靜止時(shí)間3-7倍。
D、清洗：用溶劑洗滌的發(fā)塵量降**用一般水清洗的五分之一。
室內維護結構表面發(fā)塵量，以地面為準，大約相應8平方米地面時(shí)的表面發(fā)塵量與一個(gè)靜止的人的發(fā)塵量相當。 2、發(fā)菌量
工作人員產(chǎn)生的污染： 1）皮膚：人類(lèi)通常每四天完成一次皮膚的完全脫換，人類(lèi)每分鐘脫落約1000片皮膚（平均大小為30*60*3微米）
2）頭發(fā)：人類(lèi)的頭發(fā)（直徑約為50~100微米）一直在脫落。 3）口水：包括鈉、酶、鹽、鉀、氯化物及食品微粒。
4）日常衣物：微粒、纖維、硅土、纖維素、各種化學(xué)品和細菌。
5）人類(lèi)靜止和坐立每分鐘將產(chǎn)生10000個(gè)大于0.3微米的微粒。
6）人類(lèi)在頭部和軀干做動(dòng)作時(shí)每分鐘將產(chǎn)生1000000個(gè)大于0.3微米的微粒。 7）人類(lèi)以0.9m/s的速度行走時(shí)每分鐘將產(chǎn)生5000000個(gè)大于0.3微米的微粒。 分析G外試驗資料可以認為：
⑴ 潔凈室內當工作人員穿無(wú)菌服時(shí)：
靜止時(shí)的發(fā)菌量一般為10-300個(gè)/min.人
軀體一般活動(dòng)時(shí)的發(fā)菌量為 150-1000個(gè)/min.人 快步行走時(shí)的發(fā)菌量為 900-2500個(gè)/min.人 ⑵ 咳嗽一次一般為 70~700個(gè)/ min.人 噴嚏一次一般為 4000~62000個(gè)/ min.人
⑶ 穿平常衣服時(shí)發(fā)菌量 3300~62000個(gè)/ min.人 ⑷ 無(wú)口罩發(fā)菌量：有口罩發(fā)菌量 1:7~1:14 ⑸ 發(fā)菌量：發(fā)塵量 1:500~1:1000 據G內事例： ⑹ 手術(shù)中人員發(fā)菌量 878個(gè)/ min.人
所以，可知潔凈室內無(wú)菌衣人員的靜態(tài)發(fā)菌量一般不超過(guò)300個(gè)/ min.人，動(dòng)態(tài)發(fā)菌量一般不超過(guò)1000個(gè)/ min/人，以此作為計算依據是可行的。
九、潔凈室標準規范
G內標準規范
⑴.潔凈廠(chǎng)房設計規范 GB50073-2001
⑵.醫院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規范GB50333-2002 ⑶.醫藥工業(yè)潔凈廠(chǎng)房設計規范GB 50457-2008 ⑷.傳染病醫院建筑設計規范
⑸.醫藥工業(yè)潔凈室（區）懸浮粒子的測試方法GB/T16292-1996 ⑹.QS認證質(zhì)量手冊
⑺.GMP 藥品生產(chǎn)質(zhì)量管理規范
⑻. 潔凈室施工及驗收規范GB 5091-2010 G際標準規范 ISO系列
⑴ISO14644-1 空氣潔凈度等級劃分
⑵ISO14644-2 為認證ISO14644-1的 連續的相符性的測試和監測技術(shù)要求
⑶ISO14644-3 測試方法 ⑷ISO14644-4 設計建造啟動(dòng) ⑸ISO14644-5 運行（Operations) ⑹ISO14644-6 術(shù)語(yǔ)和定義
⑺ISO14644-7 分離裝置（潔凈空氣罩、手套箱、分離器和微循環(huán)設備
⑻ISO14644-8 分子污染
⑼ISO14644-9 潔凈化學(xué)品（液體） IEST系列 潔凈空氣：
RP-CC001高效與超高效過(guò)濾器
RP-CC002單向流裝置
RP-CC006潔凈室測試RP-CC007超高效過(guò)濾器測試 RP-CC008氣體吸收裝置
RP-CC016潔凈室非揮發(fā)性殘留物質(zhì)的沉積率 RP-CC021高效與超高效過(guò)濾器過(guò)濾器介質(zhì)測試 RP-CC034高效與超高效過(guò)濾器過(guò)濾器檢漏 潔凈室與潔凈環(huán)境：
RP-CC006潔凈室測試 RP-CC012潔凈室設計要點(diǎn)
RP-CC016潔凈室非揮發(fā)性殘留物質(zhì)的沉積率 RP-CC018潔凈室管理運行與檢測程序 RP-CC022潔凈室與受控環(huán)境中的靜電 RP-CC023潔凈室中的微生物
RP-CC024微電子設備震動(dòng)測量與說(shuō)明 RP-CC026潔凈室運行
RP-CC027潔凈室與受控環(huán)境中人員與行為 RP-CC034高效與超高效過(guò)濾器過(guò)濾器檢漏 特殊應用：
RP-CC029使用噴漆器要考慮的污染控制因素 運行保障：
RP-CC003凈室與受控環(huán)境的服裝系統要點(diǎn) RP-CC004凈室與受控環(huán)境用抹布材料評估 RP-CC005凈室與受控環(huán)境用手套和指套 RP-CC020潔凈室文件材料與格式 設備：
RP-CC002單向流裝置
RP-CC013設備校準與檢驗程序
RP-CC015潔凈室生產(chǎn)設備與輔助設備 RP-CC034高效與超高效過(guò)濾器過(guò)濾器檢漏 術(shù)語(yǔ)：
RP-CC011污染控制*域術(shù)語(yǔ)和定義
文獻： #p#分頁(yè)標題#e#
RP-CC009污染控制*域的標準、準則、方法與相關(guān)文件概覽
十、行業(yè)應用
凈化工程是一個(gè)應用行業(yè)非常廣泛的基礎性配套產(chǎn)業(yè)，目前在電子信息、半導體、光電子、精密制造、醫藥衛生、生物工程、航天航空、汽車(chē)噴涂等眾多行業(yè)均有應用，并根據行業(yè)的精密與無(wú)塵要求，等級差別也較大。
目前級別**高的當屬航天航空的航空倉，基本是屬于1級，屬于特殊*域，面積相對較小。
另外對級別要求較高的是生物化學(xué)實(shí)驗室和高精納米材料生產(chǎn)車(chē)間，互聯(lián)網(wǎng)芯片的發(fā)展將是未來(lái)需求的一大方向。
詳細參數
十一、潔凈室八大特點(diǎn)
**點(diǎn)，采用更適合潔凈室原理的圓弧轉角；
第二點(diǎn)，系統自動(dòng)控制運行，雙門(mén)電子互鎖，并設有光電感應器，單向通道風(fēng)淋室，從非潔凈區進(jìn)入，關(guān)門(mén)后紅外線(xiàn)感應有人就吹淋，吹淋后入門(mén)鎖閉，只能從出門(mén)走出風(fēng)淋室； 第三點(diǎn)，整體冷軋鋼板制作，外表面靜電噴塑處理；
第四點(diǎn)，門(mén)、底板、噴嘴均采用不銹鋼制造，美觀(guān)大方；
第五點(diǎn)，軟鍵觸按式時(shí)間繼電器，LED顯示及設置吹淋時(shí)間，范圍在10-99s可調，吹淋時(shí)雙門(mén)自動(dòng)鎖閉；
第六點(diǎn)，采用初、高效兩級過(guò)濾系統，有隔板高效過(guò)濾器，過(guò)濾效率為：99.99%，確保凈化級別；
第七點(diǎn)，風(fēng)嘴出風(fēng)口風(fēng)速高達25m/s以上，吹到人體上風(fēng)速18m/s以上； 第八點(diǎn)，采用EVA密封材料，密閉性能高。[3]
十二、潔凈室從業(yè)人員規范
為了避免和減少潔凈室從業(yè)人員對潔凈室造成的污染。任何潔凈室工作以外的人員，在與潔凈室工作人員捷星接觸談話(huà)時(shí)，要將自己背對過(guò)去，因為口鼻會(huì )向注視的方興散發(fā)污染。 做到口鼻不對潔凈室的工作區。
如果出現咳嗽或者打噴嚏的情況，要做到背對潔凈室的工作區用手套掩住，然后及時(shí)更換手套。情況嚴重的者應立即離開(kāi)潔凈室區域，并向*導報告。
潔凈室內不得放置于潔凈室工作無(wú)關(guān)的物品。潔凈室工作物品要排放有序。
當設備不能正常運轉的時(shí)候，不要私自維修，要向*導報告，等專(zhuān)業(yè)人員對潔凈室進(jìn)行維修。
另外，由于潔凈室對潔凈度有著(zhù)過(guò)高的要求。因此，對潔凈室的工作人員的身體方面的狀況要求是很?chē)栏竦摹?
患有呼吸道疾病的人，由于會(huì )對潔凈室的空氣造成污染，故不能進(jìn)入潔凈室工作 患有結膜炎或者其他產(chǎn)生分泌物的病癥，或者患有皮膚類(lèi)疾病的人員都是不適合在潔凈室工作的。
另外需要注意的，潔凈室的工作人員要對自己的口腔衛生，保持注意。潔凈室工作人員要定期的進(jìn)行身體健康狀況的檢查[4]
